나노그물 형상의 실리콘 수소센서
본문
large-scale nanopatterning by self-assembly of polystyrene nanosphere and its application to silicon nanomesh based high performance hydrogen sensor
- Inventors
- Inkyu Park, Minkyu Cho, Min Gao
- Country
- Korea
- Patent Information
- Patent Application No.10-2018-0078335, registration in progress
- 이전글스퀴지 기구 및 그것을 포함하는 스크린 프린터 24.12.02
- 다음글프로브 카드, 프로브 카드를 포함한 테스트 장치, 그 프로브 카드를 이용한 테스트 방법 및 반도체 소자 제조방법 24.12.02